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国家自然科学基金(61234007)

作品数:9 被引量:16H指数:3
相关作者:阎跃鹏郭桂良来强涛陈华谢勇更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所南开大学中国科学院大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信机械工程航空宇航科学技术更多>>

领域

  • 3个电子电信
  • 2个机械工程

主题

  • 3个MEMS
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  • 1个RFMEMS

机构

  • 1个中国科学院

作者

  • 1个司朝伟
  • 1个宁瑾
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  • 1个赵永梅
  • 1个康中波
  • 1个钟卫威

传媒

  • 3个Journa...
  • 1个微纳电子技术
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