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国家自然科学基金(60276019)

作品数：9 被引量：18H指数：2
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相关机构：中国科学院微电子研究所中国工程物理研究院更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 非挥发性存储器 X射线 衍射光栅
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国工程物理研究院
研究主题：数值模拟 炸药 激光 铀 惯性约束聚变
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：惯性约束聚变 光学元件 激光 熔石英 光纤
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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