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国家自然科学基金(60176033)

作品数:9 被引量:38H指数:4
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河北工业大学
研究主题:数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学图书馆
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