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国家自然科学基金(60576032)

作品数:4 被引量:9H指数:1
相关作者:徐秋霞周华杰许高博更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所更多>>
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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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