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国家自然科学基金(60576026)

作品数：4 被引量：11H指数：3
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中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
北京航星机器制造有限公司
研究主题：铝合金 安检 超塑成形 钛合金 工装
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