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教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-06-0399)
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孙方宏
张志明
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上海交通大学
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上海交友钻石涂层有限公司
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
研究主题:MEMS 微机电系统 微电子机械系统 MEMS技术 微陀螺
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