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河北省自然科学基金(502029)

作品数：7 被引量：27H指数：3
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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院
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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学电气学院
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河北工业大学科研处
研究主题：并行工程 概念设计 废气 甲硫醇 甲基磺酰氯
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