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国家重点基础研究发展计划(206CB3027-01)

作品数:1 被引量:0H指数:0
相关作者:毕津顺宋文斌韩郑生更多>>
相关机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信更多>>

机构类别

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中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 沟道 半导体 刻蚀
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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