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国家自然科学基金(50775205)
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7
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相关作者:
章海军
张冬仙
刘超
李新弘
王乐妍
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章海军
供职机构:浙江大学
研究主题:原子力显微镜 压电陶瓷 AFM 步进 扫描器
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张冬仙
供职机构:浙江大学
研究主题:原子力显微镜 压电陶瓷 步进 AFM 金属
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刘超
供职机构:浙江大学光电信息工程学系现代光学仪器国家重点实验室
研究主题:激光 准分子激光 正则化 微驱动器 微加工
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李新弘
供职机构:浙江大学
研究主题:白光干涉 原子力显微镜 压电陶瓷驱动 压电陶瓷 铰链机构
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王波
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:光刻胶 氯化铯 套刻 硅 硅表面
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王乐妍
供职机构:浙江大学
研究主题:激光 准分子激光 光致 半导体激光 激光加工
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赵冬伟
供职机构:浙江大学
研究主题:微开关 开关功能 聚焦透镜 金属 驱动源
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伊福廷
供职机构:中国科学院高能物理研究所
研究主题:LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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