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国家高技术研究发展计划(2004AA4045)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：韩建强鲍海飞李昕欣更多>>
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地区

  • 3个上海市
共 3 条 记 录，以下是 1-3
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍海飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：原子力显微镜 加速度计 高量程加速度传感器 量程 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩建强
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 掩膜 光刻工艺 各向异性腐蚀 埋层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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