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国家科技重大专项(2009ZX02205-001)

作品数：6 被引量：37H指数：4
相关作者：王向朝杨宝喜朱菁黄惠杰徐静浩更多>>
相关机构：中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院大学上海大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项上海市科技人才计划项目国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：理学机械工程电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 20个上海市
共 20 条 记 录，以下是 1-10
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建华
供职机构：上海大学
研究主题：薄膜晶体管 电极 电力系统 知识管理 基板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静浩
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：宽光谱 显微物镜 衍射极限 光学系统 光谱仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
肖艳芬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范李立
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光学元件 压簧 拉簧 轮转 启停
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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