您的位置： 专家智库 > >

北京市自然科学基金(4052017)

作品数：4 被引量：4H指数：2
相关作者：张国炳田大宇郭辉李志宏张海霞更多>>
相关机构：北京大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 10个电子电信
  • 6个自动化与计算...
  • 6个一般工业技术
  • 5个机械工程
  • 4个理学
  • 3个化学工程
  • 3个航空宇航科学...
  • 2个经济管理
  • 2个电气工程
  • 2个核科学技术
  • 2个医药卫生
  • 2个政治法律
  • 2个文化科学
  • 1个生物学
  • 1个天文地球
  • 1个金属学及工艺
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个环境科学与工...
  • 1个社会学

主题

  • 9个应力
  • 9个离子注入
  • 9个SIC
  • 8个离子刻蚀
  • 8个刻蚀
  • 7个碳化硅
  • 7个功率
  • 6个应力控制
  • 6个退火
  • 6个氢含量
  • 6个刻蚀技术
  • 6个控制技术
  • 6个W
  • 5个英文
  • 4个电路
  • 4个压强
  • 3个单片
  • 3个单片集成
  • 3个多晶
  • 2个带电粒子

机构

  • 10个北京大学
  • 1个北京交通大学
  • 1个清华大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院近...

资助

  • 10个北京市自然科...
  • 6个国家重点基础...
  • 5个国家自然科学...
  • 4个国家高技术研...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个教育部科学技...
  • 2个国家科技重大...
  • 2个国家重点实验...
  • 1个高等学校优秀...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个北京市教育委...
  • 1个上海市教育委...

传媒

  • 8个纳米技术与精...
  • 7个Journa...
  • 6个中国机械工程
  • 6个中国微米纳米...
  • 4个北京大学学报...
  • 4个传感技术学报
  • 4个微纳电子技术
  • 4个第十三届全国...
  • 4个第十四届全国...
  • 4个中国微米、纳...
  • 3个功能材料与器...
  • 3个中国微米/纳...
  • 3个第十五届全国...
  • 2个高能物理与核...
  • 2个电子学报
  • 2个眼科研究
  • 2个眼科新进展
  • 2个今日电子
  • 2个核电子学与探...
  • 2个第八届中国微...

地区

  • 10个北京市
共 10 条 记 录，以下是 1-10
张国炳
供职机构：北京大学
研究主题：硅化物 多晶硅 离子注入 微机电系统 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
田大宇
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 探测器 硅 离子注入 成品率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张海霞
供职机构：北京大学
研究主题：发电机 电极 MEMS 反应离子刻蚀 摩擦式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭辉
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS SIC 谐振器 碳化硅 操作系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李志宏
供职机构：北京大学信息科学技术学院
研究主题：MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王煜
供职机构：北京大学
研究主题：应力控制 MEMS SIC 抗腐蚀 离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈哲
供职机构：北京大学
研究主题：SIC 控制技术 离子注入 退火 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈晟
供职机构：北京大学
研究主题：反应离子刻蚀 功率 氢含量 压强 PECVD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
纪明
供职机构：北京大学
研究主题：SIC 控制技术 离子注入 退火 应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王玮
供职机构：北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题：硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0