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国家重点实验室开放基金(SKLT08B04)

作品数：2 被引量：6H指数：2
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传媒

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  • 3个中国机械工程
  • 3个机械制造
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  • 3个振动与冲击

地区

  • 6个北京市
  • 1个湖北省
  • 1个广东省
共 8 条 记 录，以下是 1-8
朱煜
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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张鸣
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工件台 位移测量系统
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张生果
供职机构：清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题：爬壁机器人 磁悬浮 工件台 控制研究 控制卡
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨开明
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 平面电机 六自由度 工件台 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段广洪
供职机构：清华大学深圳研究生院
研究主题：光刻机 工位 平面电机 基台 并联机床
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
尹文生
供职机构：华中科技大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 直线电机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡金春
供职机构：清华大学
研究主题：光刻机 六自由度 平面电机 工位 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高阵雨
供职机构：国家自然科学基金委员会
研究主题：国家自然科学基金 国家杰出青年科学基金 国家自然科学 基金资助 基金改革
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