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中国博士后科学基金(20100470299)
作品数:
2
被引量:7
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相关作者:
纪春华
朱煜
徐登峰
葛楠
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清华大学
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中国博士后科学基金
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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纪春华
供职机构:清华大学
研究主题:泄漏检测 气密性 有限元 小孔 有限元分析
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徐登峰
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 工位 平面电机 六自由度 基台
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葛楠
供职机构:清华大学
研究主题:直流电弧等离子体 放电稳定性 电弧等离子体 电弧 热等离子体
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