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国家自然科学基金(60176015)

作品数：11 被引量：30H指数：4
相关作者：史峥严晓浪陈志锦王国雄付萍更多>>
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领域

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主题

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机构

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  • 1个中国兵器工业...
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资助

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传媒

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地区

  • 11个浙江省
  • 1个江西省
  • 1个四川省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
史峥
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：光学邻近校正 集成电路 光刻 成品率 版图
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严晓浪
供职机构：浙江大学电气工程学院
研究主题：集成电路 VLSI 低功耗 光学邻近校正 版图
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈志锦
供职机构：中国兵器工业第58研究所
研究主题：光学邻近校正 集成电路 光刻模拟 交流伺服系统 光刻仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王国雄
供职机构：浙江大学
研究主题：光学邻近校正 光刻 集成电路 光刻模拟 光刻仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付萍
供职机构：东华理工大学信息工程学院信息工程系
研究主题：光学邻近校正 集成电路 OPC 光刻 水资源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈晔
供职机构：浙江大学
研究主题：分辨率增强技术 光刻 硅表面 中外合作办学 光刻模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高根生
供职机构：浙江大学电气工程学院超大规模集成电路设计研究所
研究主题：可制造性设计 纳米级 分辨率增强技术 光刻模拟 光刻仿真
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李季
供职机构：浙江大学
研究主题：光刻模拟 分辨率增强技术 分辨率 离轴照明 废水处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊军
供职机构：杭州市电力局
研究主题：分布式电源 分布式发电 配电网 准入容量 配网
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付萍
供职机构：浙江警官职业学院
研究主题：超深亚微米 IC 光学邻近效应 光刻 卷积核
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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