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国家自然科学基金(60176013)
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张卫
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 晶体管 存储器 电极 隧穿
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卢红亮
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 原子层淀积 扩散阻挡层 纳米材料 电镀铜
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张立锋
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:铜互连 脉冲电镀 集成电路 电阻率 X射线衍射
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曾磊
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 脉冲电镀 铜互连线 集成电路 电阻率
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徐敏
供职机构:复旦大学
研究主题:偏折 电子设备 精密测量技术 增强型 沟道
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汪礼康
供职机构:复旦大学
研究主题:铜互连 脉冲电镀 集成电路 电阻率 X射线衍射
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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徐赛生
供职机构:复旦大学
研究主题:增强型 铜互连 脉冲电镀 势垒层 阴极
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任杰
供职机构:河北科技大学理学院
研究主题:密度泛函理论 密度泛函理论研究 电子结构 原子层淀积 反应机理
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陈玮
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 快闪存储器 沉积厚度 介质薄膜 纳米晶
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