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教育部“春晖计划”(Z2005-2-11012)
作品数:
1
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相关作者:
周毅
孙承松
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李新
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:压力传感器 压力敏感芯片 微全分析系统 集成化 SOI
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周毅
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:微电子器件 塑封
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孙承松
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:溅射 硅 INSB薄膜 传感器 气敏元件
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