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国家科技重大专项(2009ZX02039-004)

作品数：2 被引量：11H指数：2
相关作者：李爱东曹燕强朱琳更多>>
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地区

  • 3个江苏省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
李爱东
供职机构：南京大学
研究主题：原子层沉积 介质薄膜 铁电薄膜 SUB 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱琳
供职机构：南京大学现代工程与应用科学学院固体微结构物理国家重点实验室
研究主题：成核 ALD 金属材料 金属薄膜 前驱体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹燕强
供职机构：南京大学
研究主题：原子层沉积 ALD 介质薄膜 无机-有机 MOS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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