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国家重点实验室开放基金(9140C79030302090C79)
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汪红
丁桂甫
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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李光杨
供职机构:上海交通大学
研究主题:微电铸 镀液 微结构 超声清洗 超薄膜
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供职机构:上海交通大学医学院
研究主题:磁力研磨 化学品 偿付能力 金刚石砂轮 MEMS
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姚锦元
供职机构:上海交通大学
研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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赵小林
供职机构:上海交通大学
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汤俊
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微机电系统 UV-LIGA 微电铸 电铸
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杨卓青
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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刘瑞
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:微机电系统 MEMS 碳纳米管 场效应晶体管 功能化碳纳米管
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