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中国博士后科学基金(2005038145)
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李雪萍
佐藤一雄
式田光宏
丁桂甫
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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式田光宏
供职机构:名古屋大学
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安藤妙子
供职机构:名古屋大学
研究主题:微机电系统 MEMS薄膜 力学性能 机械性能 坡莫合金
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李雪萍
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 微拉伸 力学传感器 塑性变形 MEMS
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佐藤一雄
供职机构:名古屋大学
研究主题:微机电系统 表面活性剂 MEMS 各向异性 单晶硅
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