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国家自然科学基金(60236010)

作品数：32 被引量：108H指数：6
相关作者：刘明王太宏陈大鹏叶甜春谢常青更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所中国科学院北京理工大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划更多>>
相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

领域

  • 67个电子电信
  • 50个自动化与计算...
  • 44个一般工业技术
  • 44个理学
  • 31个机械工程
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  • 9个轻工技术与工...
  • 7个天文地球
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  • 6个矿业工程
  • 6个动力工程及工...

主题

  • 48个纳米
  • 41个刻蚀
  • 41个光刻
  • 37个半导体
  • 35个金属
  • 34个电路
  • 34个传感
  • 33个感器
  • 33个传感器
  • 32个微电子
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  • 26个掩模
  • 25个等离子体刻蚀
  • 25个电子器件
  • 23个氮化
  • 22个氮化硅
  • 21个电池
  • 21个电流

机构

  • 39个中国科学院微...
  • 18个中国科学院
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  • 9个中国科学技术...
  • 7个重庆邮电大学
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  • 6个中国科学院微...
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  • 2个北京科技大学
  • 2个北京航空航天...
  • 2个河北大学
  • 2个西安理工大学
  • 2个天津大学
  • 2个燕山大学
  • 2个重庆邮电学院

资助

  • 68个国家自然科学...
  • 52个国家重点基础...
  • 36个国家高技术研...
  • 13个国家科技重大...
  • 12个中国博士后科...
  • 11个国家杰出青年...
  • 10个江苏省自然科...
  • 10个国家教育部博...
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  • 7个中国科学院知...
  • 7个中央高校基本...
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  • 5个重庆市自然科...

传媒

  • 46个Journa...
  • 30个物理学报
  • 30个微纳电子技术
  • 23个微电子学
  • 22个微细加工技术
  • 19个半导体技术
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  • 18个固体电子学研...
  • 17个物理
  • 16个光电工程
  • 15个电子器件
  • 15个第十四届全国...
  • 14个电子学报
  • 14个功能材料与器...
  • 13个科学通报
  • 13个光学学报
  • 12个微电子学与计...
  • 11个红外与毫米波...
  • 9个光子学报
  • 9个发光学报

地区

  • 40个北京市
  • 5个江苏省
  • 4个四川省
  • 4个重庆市
  • 3个安徽省
  • 2个天津市
  • 1个湖北省
  • 1个福建省
  • 1个广东省
  • 1个河北省
共 68 条 记 录，以下是 1-10
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王太宏
供职机构：厦门大学
研究主题：碳纳米管 单电子存储器 单电子晶体管 单壁碳纳米管 电子存储器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陶然
供职机构：北京理工大学
研究主题：分数阶傅里叶变换 分数阶FOURIER变换 信号处理 模糊函数 外辐射源雷达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 掩模 干法刻蚀 深亚微米 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
商立伟
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：有机场效应晶体管 有机半导体 绝缘衬底 电极 有机半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王巍
供职机构：重庆邮电学院
研究主题：等离子体刻蚀 神经网络法 刻蚀工艺 等离子体 高密度等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
涂德钰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：微电子学 分子电子学 交叉线 电子束光刻 有机分子
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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