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国家高技术研究发展计划(2002AA431150)

作品数：2 被引量：10H指数：1
相关作者：黄军容伊福廷彭良强张菊芳韩勇更多>>
相关机构：中国科学院北京工业大学更多>>
发文基金：北京市自然科学基金国家高技术研究发展计划中国科学院知识创新工程更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>

领域

  • 6个化学工程
  • 6个金属学及工艺
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主题

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  • 5个微电子机械
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  • 4个电机
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  • 4个电路
  • 4个电泳
  • 4个电泳技术
  • 4个电泳芯片
  • 3个电铸镍

机构

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  • 5个北京工业大学
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  • 1个清华大学
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  • 1个中国科学院上...
  • 1个北京机电研究...

资助

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  • 6个国家高技术研...
  • 6个中国科学院知...
  • 5个国家自然科学...
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  • 1个北京市教委重...
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传媒

  • 6个过滤与分离
  • 6个电加工与模具
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  • 2个物理
  • 2个光学学报

地区

  • 6个北京市
共 6 条 记 录，以下是 1-6
黄军容
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
韩勇
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 掩模 电火花加工 LIGA
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭良强
供职机构：中国科学院
研究主题：LIGA技术 微细加工 电火花加工 LIGA 微细电火花加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张菊芳
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 电火花加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蒋毅坚
供职机构：北京工业大学
研究主题：激光辐照 激光 SUB 陶瓷 籽晶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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