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国家自然科学基金(60576020)
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李志宏
王玮
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王海滨
雷银花
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李志宏
供职机构:北京大学信息科学技术学院
研究主题:MEMS 硅 VLSI 微机电系统 微电子机械系统
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王玮
供职机构:北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题:硅 数据挖掘 探测器 共晶键合 金属薄膜
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雷银花
供职机构:北京大学
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王海滨
供职机构:解放军302医院
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耿照新
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:微泵 热变形 微流控芯片 聚二甲基硅氧烷 PDMS
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季旭
供职机构:北京大学微电子学研究院
研究主题:MEMS 硅 SPR 近红外光 近红外
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