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国家重点基础研究发展计划(G1999033108)

作品数:12 被引量:69H指数:4
相关作者:王向朝阮勇张大成程兆年罗乐更多>>
相关机构:中国科学院上海光学精密机械研究所北京大学中国科学院更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域:电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 28个电子电信
  • 25个机械工程
  • 25个自动化与计算...
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  • 6个轻工技术与工...
  • 5个经济管理
  • 5个生物学
  • 5个动力工程及工...
  • 4个建筑科学
  • 4个农业科学
  • 3个天文地球
  • 2个冶金工程

主题

  • 23个感器
  • 23个传感
  • 23个传感器
  • 21个芯片
  • 20个电路
  • 20个半导体
  • 19个微电子
  • 18个MEMS
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  • 16个压阻
  • 16个加速度
  • 15个微电子机械
  • 15个微电子机械系...
  • 14个速度传感器
  • 13个应力
  • 11个电池
  • 11个有限元模拟
  • 9个氮化
  • 6个氮化硅

机构

  • 10个北京大学
  • 9个中国科学院
  • 6个清华大学
  • 5个中国科学院上...
  • 3个中国科学院力...
  • 2个大连理工大学
  • 2个北京航空航天...
  • 2个香港科技大学
  • 2个沈阳师范大学
  • 2个中国科学院上...
  • 1个东南大学
  • 1个河北半导体研...
  • 1个华东师范大学
  • 1个吉首大学
  • 1个江南大学
  • 1个辽宁大学
  • 1个北京广播学院
  • 1个西安交通大学
  • 1个西安近代化学...
  • 1个西北工业大学

资助

  • 30个国家重点基础...
  • 25个国家自然科学...
  • 14个国家高技术研...
  • 9个上海市科学技...
  • 8个中国科学院知...
  • 6个国家重点实验...
  • 5个中国博士后科...
  • 5个国家科技重大...
  • 4个“九五”国家...
  • 4个中国科学院知...
  • 3个国防科技技术...
  • 3个上海市科委纳...
  • 3个“上海-应用...
  • 3个中国科学院“...
  • 2个北京市自然科...
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  • 2个清华大学基础...
  • 2个上海市自然科...

传媒

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  • 10个传感技术学报
  • 10个微纳电子技术
  • 9个物理学报
  • 8个机械强度
  • 7个微细加工技术
  • 6个中国机械工程
  • 6个光子学报
  • 6个中国科学(E...
  • 6个应用力学学报
  • 6个光电工程
  • 6个固体电子学研...
  • 6个第八届敏感元...
  • 5个光电子.激光
  • 5个电子学报
  • 5个中国激光
  • 5个光学学报

地区

  • 13个北京市
  • 11个上海市
  • 2个四川省
  • 2个浙江省
  • 1个江苏省
  • 1个辽宁省
30 条 记 录,以下是 1-10
王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
阮勇
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 继电器 刻蚀 微电子机械系统 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
程兆年
供职机构:上海大学通信与信息工程学院新型显示技术及应用集成教育部重点实验室
研究主题:分子动力学 模式识别 分子动力学模拟 电子封装 有限元模拟
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王晓红
供职机构:清华大学
研究主题:直接甲醇燃料电池 多孔硅 MEMS 微加工 微机械加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董良
供职机构:清华大学信息科学技术学院电子工程系
研究主题:室温红外探测器 介质上电润湿 非晶硅 微测辐射热计 TFT
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄卫东
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:电子封装 残余应力 封装 有限元模拟 倒装焊
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周俊
供职机构:清华大学
研究主题:多孔硅 牺牲层 挥发 铝元素 牺牲层技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗乐
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:圆片级 封装 子层 电镀 封装结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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