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国家自然科学基金(无)

作品数：27 被引量：34H指数：3
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孙飞
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电光调制器 掺杂 光信号处理 各向异性刻蚀 微机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈少武
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SOI 波导 刻蚀 谐振腔 电光调制器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
余金中
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：SOI 光开关 硅基 波导 多模干涉耦合器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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