您的位置： 专家智库 > >

国家重点基础研究发展计划(G2000036504)

作品数：3 被引量：16H指数：3
相关作者：任黎明陈宝钦谭震宇顾文琪薛丽君更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所山东大学中国科学院微电子中心更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划“九五”国家科技攻关计划更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 18个电子电信
  • 14个自动化与计算...
  • 11个理学
  • 10个一般工业技术
  • 7个机械工程
  • 6个文化科学
  • 5个金属学及工艺
  • 5个电气工程
  • 4个轻工技术与工...
  • 3个经济管理
  • 3个化学工程
  • 2个交通运输工程
  • 2个环境科学与工...
  • 2个农业科学
  • 1个生物学
  • 1个矿业工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个航空宇航科学...
  • 1个核科学技术

主题

  • 18个电子束曝光
  • 17个电子束曝光系...
  • 17个光刻
  • 17个光刻技术
  • 17个光学
  • 16个电子束直写
  • 16个微光刻
  • 16个微光刻技术
  • 15个电子束光刻
  • 14个微细
  • 14个微细加工
  • 13个掩模
  • 11个电子束
  • 10个电路
  • 8个电子散射
  • 7个等离子体
  • 7个电极
  • 7个电子束抗蚀剂
  • 6个等离子体刻蚀
  • 6个电子束曝光技...

机构

  • 16个中国科学院微...
  • 6个中国科学院
  • 6个中国科学院微...
  • 3个北京大学
  • 2个南京大学
  • 2个中国科学院大...
  • 1个北京邮电大学
  • 1个北京师范大学
  • 1个北京科技大学
  • 1个兰州大学
  • 1个北京航空航天...
  • 1个河北大学
  • 1个清华大学
  • 1个西安理工大学
  • 1个山东大学
  • 1个湛江师范学院
  • 1个山东工业大学
  • 1个中国工程物理...
  • 1个山东劳动职业...
  • 1个中国科学院电...

资助

  • 18个国家重点基础...
  • 16个国家自然科学...
  • 8个国家高技术研...
  • 4个国家科技重大...
  • 4个“九五”国家...
  • 3个国家攀登计划
  • 3个国家重大科学...
  • 3个全球变化研究...
  • 3个中国科学院知...
  • 2个江苏省自然科...
  • 2个北京市科技计...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个中国科学院战...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个中国科学院重...
  • 1个北京市科技新...
  • 1个山东省科技攻...
  • 1个山东省优秀中...
  • 1个山东省自然科...

传媒

  • 16个Journa...
  • 16个第十四届全国...
  • 14个微细加工技术
  • 12个第十三届全国...
  • 10个微电子学
  • 9个微纳电子技术
  • 8个电子器件
  • 8个第十二届全国...
  • 7个物理学报
  • 7个光电工程
  • 6个半导体技术
  • 6个第二届全国纳...
  • 6个2010(第...
  • 5个电子技术应用
  • 5个固体电子学研...
  • 5个第十二届全国...
  • 5个第十一届全国...
  • 4个科学通报
  • 4个物理
  • 4个纳米技术与精...

地区

  • 11个北京市
  • 1个山东省
  • 1个四川省
  • 1个广东省
共 18 条 记 录，以下是 1-10
任黎明
供职机构：北京大学
研究主题：石墨烯 金属 纳电子学 电子束曝光 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭震宇
供职机构：山东大学电气工程学院
研究主题：低能电子 蒙特卡罗法 MONTE 散射 CARLO方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤跃科
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 微光刻技术 电子束直写 CIF格式 光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
薛丽君
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：电子束直写 ALGAN/GAN_HEMT 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 电子束光刻 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金儒
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：数据格式转换 CIF格式 电子束直写 微光刻技术 CIF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王德强
供职机构：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题：X射线光刻 波带片 X射线 电子束 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘珠明
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：热反射 电子束曝光机 热光伏电池 光学 微光刻技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡勇
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：微光刻技术 光学 电子束直写 电子束曝光系统 数据处理
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0