您的位置： 专家智库 > >

天津市自然科学基金(043801211)

作品数：12 被引量：37H指数：4
相关作者：刘玉岭张建新袁育杰牛新环王娟更多>>
相关机构：河北工业大学天津理工大学更多>>
发文基金：天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

领域

  • 23个电子电信
  • 18个金属学及工艺
  • 17个一般工业技术
  • 14个自动化与计算...
  • 10个化学工程
  • 10个理学
  • 9个电气工程
  • 8个文化科学
  • 7个建筑科学
  • 5个环境科学与工...
  • 4个动力工程及工...
  • 3个经济管理
  • 3个哲学宗教
  • 3个冶金工程
  • 3个机械工程
  • 3个交通运输工程
  • 2个医药卫生
  • 1个生物学
  • 1个矿业工程
  • 1个石油与天然气...

主题

  • 22个化学机械抛光
  • 22个机械抛光
  • 22个CMP
  • 20个抛光
  • 20个抛光液
  • 19个ULSI
  • 18个活性剂
  • 16个铜布线
  • 16个抛光速率
  • 15个蓝宝
  • 15个蓝宝石
  • 15个CMP技术
  • 14个硬盘
  • 14个溶胶
  • 14个纳米
  • 13个阻挡层
  • 13个蓝宝石衬底
  • 12个电路
  • 12个铜互连
  • 8个单晶

机构

  • 23个河北工业大学
  • 2个天津大学
  • 2个天津理工大学
  • 1个南开大学
  • 1个河北工学院
  • 1个天津工业大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国科学院研...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个光电信息技术...
  • 1个天津市光电子...

资助

  • 23个天津市自然科...
  • 15个国家自然科学...
  • 10个河北省自然科...
  • 8个国家教育部博...
  • 7个天津市重大科...
  • 6个国家科技重大...
  • 6个国家中长期科...
  • 6个河北省教育厅...
  • 4个天津市重点学...
  • 4个天津市科技攻...
  • 3个国家高技术研...
  • 3个国家重点基础...
  • 3个天津市科技计...
  • 3个河北省高等学...
  • 3个河北省教育厅...
  • 2个国家科技型中...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个天津市科技支...
  • 2个河北省科学技...
  • 2个博士后科研启...

传媒

  • 22个微纳电子技术
  • 14个半导体技术
  • 12个第十三届全国...
  • 10个第十四届全国...
  • 9个Journa...
  • 9个河北工业大学...
  • 9个微电子学
  • 6个天津科技
  • 6个功能材料
  • 6个电子器件
  • 6个清洗世界
  • 6个纳米技术与精...
  • 5个电子工艺技术
  • 5个微细加工技术
  • 5个纳米科技
  • 4个物理学报
  • 4个电镀与涂饰
  • 4个润滑与密封
  • 4个表面技术
  • 4个稀有金属

地区

  • 22个天津市
  • 1个河北省
共 23 条 记 录，以下是 1-10
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建新
供职机构：天津工业大学
研究主题：等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
袁育杰
供职机构：天津理工大学
研究主题：太阳电池 微晶硅 单模光纤 光纤 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张楷亮
供职机构：天津理工大学
研究主题：化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘长宇
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 ULSI CMP 硬盘
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张远祥
供职机构：河北工业大学
研究主题：臭氧 表面活性剂 硅片 硅衬底 微电子工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李薇薇
供职机构：河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共3页<123>
聚类工具0