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国家重点基础研究发展计划(A1420060154)
作品数:
2
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相关作者:
蔡豪刚
赵小林
丁桂甫
杨卓青
刘瑞
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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杨卓青
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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赵小林
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机械 微机电系统技术 电磁驱动
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蔡豪刚
供职机构:哥伦比亚大学
研究主题:微机电系统 MEMS 惯性开关 电学 微型惯性开关
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付世
供职机构:上海交通大学
研究主题:MEMS 微机电系统 多孔硅 PDMS 压力传感器
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刘瑞
供职机构:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
研究主题:微机电系统 MEMS 碳纳米管 场效应晶体管 功能化碳纳米管
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