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国家自然科学基金(10674134)

作品数：9 被引量：30H指数：4
相关作者：李艳秋刘克周远刘景峰孙知渊更多>>
相关机构：中国科学院北京理工大学中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>

领域

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主题

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机构

  • 7个中国科学院
  • 3个北京理工大学
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资助

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传媒

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  • 1个传感技术学报
  • 1个电子工业专用...
  • 1个激光与红外
  • 1个压电与声光

地区

  • 6个北京市
  • 1个湖南省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光刻系统 光源 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周远
供职机构：长沙学院
研究主题：成像系统 举高喷射消防车 上位机控制 滚球 摄像头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景峰
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：相位展开 波像差 极紫外光刻 波面拟合 干涉图
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
樊明哲
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：浸没式ARF光刻 有限元 ARF 浸没式 热性能分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高松波
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：分辨率增强 掩模 形相 光刻系统 模版
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙知渊
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：光学光刻 成像系统 频谱分析 分辨率增强技术 信息光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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