您的位置： 专家智库 > >

国家自然科学基金(10674134)

作品数：9 被引量：30H指数：4
相关作者：李艳秋刘克周远刘景峰孙知渊更多>>
相关机构：中国科学院北京理工大学中国科学院研究生院更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>

领域

  • 7个电子电信
  • 5个机械工程
  • 4个自动化与计算...
  • 4个理学
  • 3个文化科学
  • 2个医药卫生
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个金属学及工艺
  • 1个动力工程及工...
  • 1个历史地理

主题

  • 7个光刻
  • 3个导引
  • 3个掩模
  • 3个余弦
  • 3个余弦变换
  • 2个单数
  • 2个导数
  • 2个低频
  • 2个低通
  • 2个低通滤波
  • 2个低通滤波器
  • 2个低信噪比
  • 2个点对应
  • 2个点衍射干涉仪
  • 2个点坐标
  • 2个调制度
  • 2个迭代
  • 2个迭代优化
  • 2个顶点
  • 2个顶点坐标

机构

  • 7个中国科学院
  • 3个北京理工大学
  • 3个中国科学院研...
  • 1个长沙学院
  • 1个国防科学技术...

资助

  • 7个国家重点基础...
  • 7个国家自然科学...
  • 2个教育部长江学...
  • 2个国家科技重大...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个湖南省自然科...
  • 1个教育部留学回...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个广西壮族自治...
  • 1个长江学者和创...
  • 1个航天支撑技术...
  • 1个湖南省教育科...
  • 1个湖南省教育厅...
  • 1个湖南省普通高...
  • 1个教育部重点实...
  • 1个王宽诚教育基...
  • 1个中国科学院“...
  • 1个中国科学院知...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 4个光学学报
  • 3个红外与激光工...
  • 3个仪器仪表学报
  • 3个光学技术
  • 3个中国激光
  • 3个光电工程
  • 2个激光与光电子...
  • 2个功能材料与器...
  • 2个微细加工技术
  • 1个量子电子学报
  • 1个光学精密工程
  • 1个太阳能学报
  • 1个中国机械工程
  • 1个强激光与粒子...
  • 1个航空制造技术
  • 1个应用光学
  • 1个传感技术学报
  • 1个电子工业专用...
  • 1个激光与红外
  • 1个压电与声光

地区

  • 6个北京市
  • 1个湖南省
共 7 条 记 录，以下是 1-7
李艳秋
供职机构：北京理工大学
研究主题：掩模 极紫外光刻 光源 光刻系统 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘克
供职机构：北京理工大学
研究主题：波像差 光刻机 投影物镜 光栅 位相
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周远
供职机构：长沙学院
研究主题：成像系统 举高喷射消防车 上位机控制 滚球 摄像头
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘景峰
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：相位展开 波像差 极紫外光刻 波面拟合 干涉图
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
樊明哲
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：浸没式ARF光刻 有限元 ARF 浸没式 热性能分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高松波
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：分辨率增强 掩模 形相 光刻系统 模版
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙知渊
供职机构：中国科学院电工研究所
研究主题：光学光刻 成像系统 频谱分析 分辨率增强技术 信息光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0