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国家自然科学基金(69976034)

作品数：5 被引量：19H指数：3
相关作者：林成鲁门传玲林青谢欣云徐政更多>>
相关机构：中国科学院同济大学中国科学院上海冶金研究所更多>>
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领域

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  • 11个一般工业技术
  • 9个理学
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主题

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  • 10个绝缘埋层
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  • 6个电子领域
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  • 4个单晶薄膜
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机构

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资助

  • 13个国家重点基础...
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传媒

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地区

  • 12个上海市
  • 1个北京市
共 13 条 记 录，以下是 1-10
林成鲁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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门传玲
供职机构：上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题：碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢欣云
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI新结构 氮化硅薄膜 SOI SOI结构 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林青
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈勤我
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐政
供职机构：同济大学材料科学与工程学院
研究主题：高岭石 超导体 超导电性 微波 ZNO压敏电阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴雁军
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：SOI 吸杂 ALN薄膜 绝缘层上硅 离子束增强沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐安怀
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：INP 磷化铟 异质结双极晶体管 DHBT 双异质结双极晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
安正华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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