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广东省中国科学院全面战略合作项目(2009B091300006)

作品数：1 被引量：6H指数：1
相关作者：刘国强周崇喜张锦更多>>
相关机构：西安工业大学中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金：广东省中国科学院全面战略合作项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学机械工程更多>>

领域

  • 3个机械工程
  • 3个理学
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  • 1个金属学及工艺
  • 1个电气工程
  • 1个建筑科学
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  • 1个航空宇航科学...
  • 1个医药卫生
  • 1个文化科学

主题

  • 2个单层膜
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  • 2个电路
  • 2个迭代
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  • 2个掩模
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  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
  • 1个氮化硅薄膜
  • 1个氮化硅膜
  • 1个刀架
  • 1个导轨
  • 1个导引
  • 1个等差
  • 1个等离激元
  • 1个低能

机构

  • 3个中国科学院
  • 2个四川大学
  • 1个西安工业大学
  • 1个中国科学院研...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 3个广东省中国科...
  • 2个国家重点实验...
  • 1个国防基础科研...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个四川省自然科...
  • 1个四川省青年科...
  • 1个陕西省教育厅...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个陕西省教育厅...
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  • 1个中国科学院知...
  • 1个中国人民解放...
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传媒

  • 3个强激光与粒子...
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  • 2个光电工程
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  • 2个光学仪器
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  • 1个液晶与显示
  • 1个应用光学
  • 1个电子工业专用...

地区

  • 1个北京市
  • 1个陕西省
  • 1个四川省
共 3 条 记 录，以下是 1-3
刘国强
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：干涉光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张锦
供职机构：西安工业大学
研究主题：光刻系统 光刻 干涉光刻 光刻技术 激光干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周崇喜
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光束整形 半导体激光器 微透镜阵列 透镜 光纤耦合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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