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上海市科委纳米专项基金(11nm0560800)

作品数：2 被引量：14H指数：2
相关作者：吴俊杰李源傅云霞蔡潇雨雷李华更多>>
相关机构：上海市计量测试技术研究院中国计量学院上海交通大学更多>>
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地区

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
李源
供职机构：上海交通大学机械与动力工程学院
研究主题：纳米测量机 MEMS 微机电系统 纳米 校准
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴俊杰
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：电容传感器 纳米测量机 白光干涉 接触式测头 共聚焦显微镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡潇雨
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：白光干涉 原子力显微镜 纳米 MES 微球
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高婧
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：分辨率 合作共赢 监视器 数据采集和处理 低损耗
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何明轩
供职机构：上海交通大学
研究主题：MEMS 校准 微机电系统 电容式 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李东升
供职机构：中国计量大学
研究主题：节流器 气体静压 气膜 传感器 植物叶片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢歆
供职机构：上海交通大学
研究主题：纳米测量机 高灵敏度 可变电容 微加工 电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
傅云霞
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：激光跟踪仪 光栅 纳米 测头 校准
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
雷李华
供职机构：上海市计量测试技术研究院
研究主题：光栅 纳米 校准 薄膜厚度 校准装置
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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