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国家自然科学基金(50675139)
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丁桂甫
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丁桂甫
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研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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吴义伯
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张小波
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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