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2024年7月22日星期一

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国家自然科学基金(2003CB716201): 作品数：2 被引量：8H指数：2; 相关作者：张伟潘国顺刘宇宏雒建斌路新春更多>>; 相关机构：清华大学西安交通大学更多>>; 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>; 相关领域：电子电信机械工程理学更多>>

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共 8 条记录，以下是 1-8

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蒋庄德: 供职机构：西安交通大学; 研究主题：传感器芯片电极传感器芯片 MEMS; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

朱明智: 供职机构：中国工程物理研究院总体工程研究所; 研究主题：大口径反射镜镜框气室大口径光学元件氮化硅薄膜; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

路新春: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光晶圆抛光液抛光垫抛光; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

刘宇宏: 供职机构：清华大学机械工程学院机械工程系; 研究主题：化学机械抛光抛光液摩擦副表面铜布线润滑材料; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

张伟: 供职机构：清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室; 研究主题：铜化学机械抛光氨基乙酸腐蚀坑抛光液; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

潘国顺: 供职机构：清华大学; 研究主题：抛光化学机械抛光抛光液去除速率磨粒; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

雒建斌: 供职机构：清华大学; 研究主题：化学机械抛光润滑薄膜润滑抛光液纳米级; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

景蔚萱: 供职机构：西安交通大学; 研究主题：葡萄糖传感器计量学超微电极原子力显微镜; 发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域

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