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国家自然科学基金(50607018)
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刘俊标
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刘俊标
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 电子枪 超声电机 盲文 束流
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电流变液 电子束曝光
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研究主题:SEM 自动聚焦 系统设计 式微 DCT变换
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供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:柔性铰链 磁性物质 传感器 测量方式 压电元件
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郭少鹏
供职机构:中国科学院电工研究所
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方光荣
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
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段守胜
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:系统设计 DCT变换 SEM 自动聚焦 爬山算法
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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