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国家科技重大专项(2011ZX02402)

作品数：14 被引量：75H指数：5
相关作者：黄惠杰杨宝喜曾爱军徐敏朱菁更多>>
相关机构：中国科学院大学中国科学院上海光学精密机械研究所复旦大学更多>>
发文基金：国家科技重大专项国际科技合作与交流专项项目上海市引进技术的吸收与创新计划项目更多>>
相关领域：机械工程理学金属学及工艺更多>>

领域

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  • 25个理学
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  • 1个核科学技术
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主题

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  • 17个图像
  • 16个光学元件
  • 14个照明
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  • 13个衍射光学
  • 13个衍射光学元件
  • 13个相干
  • 12个照明系统
  • 12个微透镜
  • 12个微透镜阵列
  • 12个相干光
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  • 8个等离子体
  • 8个调整架

机构

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  • 1个华中理工大学
  • 1个机械工业部杭...

资助

  • 27个国家科技重大...
  • 17个国际科技合作...
  • 12个国家自然科学...
  • 11个上海市科技人...
  • 7个国家高技术研...
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  • 2个国家重点基础...
  • 2个国家教育部博...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个浙江省公益性...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个上海市高校选...
  • 1个“上海－应用...
  • 1个国家攀登计划
  • 1个国家重大科学...

传媒

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  • 7个物理学报
  • 7个光子学报
  • 7个第十五届全国...
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  • 2个应用光学
  • 2个功能材料与器...
  • 2个光学仪器
  • 2个2007年中...

地区

  • 25个上海市
  • 1个黑龙江省
  • 1个北京市
共 27 条 记 录，以下是 1-10
黄惠杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾爱军
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宝喜
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐敏
供职机构：复旦大学
研究主题：偏折 电子设备 精密测量技术 增强型 沟道
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王军华
供职机构：复旦大学
研究主题：全景 波前编码 干涉图 自准直仪 径向畸变
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱菁
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡中华
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 离轴照明 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡小邦
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李璟
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金超群
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：大量程 MEMS光开关 激光测距 镜面 差分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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