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国家高技术研究发展计划(2006AA04Z302)

作品数：9 被引量：4H指数：1
相关作者：李伟华黄庆安马洪宇彭奇李洪飞更多>>
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领域

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主题

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机构

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资助

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地区

  • 12个江苏省
共 12 条 记 录，以下是 1-10
李伟华
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 多晶硅 微机电系统 残余应力 绝缘衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄庆安
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS 风速风向传感器 无源无线 微机电系统 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡冬梅
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：多晶硅薄膜 热膨胀系数 吸合 电测试 热应力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓伟
供职机构：东南大学
研究主题：MEMS器件 版图 MEMS 各向异性腐蚀 微加工技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
于虹
供职机构：东南大学
研究主题：硅 纳米 半导体激光器 压阻 纳机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马洪宇
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：微机电系统 传感器设计 悬臂梁 谐振式 频率测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李洪飞
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：混频器 静电驱动
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
彭奇
供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室
研究主题：差分算法 牺牲层腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李蓓佳
供职机构：东南大学
研究主题：系统级模拟 变截面梁 变截面 宏模型 信号流图
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱晓霞
供职机构：南京工程学院工业中心
研究主题：电学 绝缘层 钝角 微机电系统 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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