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国家科技重大专项(2012ZX02702006)
作品数:
6
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周振宇
周海波
杨开明
朱煜
王伟华
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杨开明
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 六自由度 直线电机 工件台
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朱煜
供职机构:清华大学
研究主题:光刻机 平面电机 工件台 六自由度 气浮轴承
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周振宇
供职机构:中南大学
研究主题:直线电机 电机检测 推力波动 推力 力矩传感器
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周海波
供职机构:中南大学
研究主题:夹具 同轴型 光纤 光电子封装 光电子器件
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王熙
供职机构:电子科技大学机械电子工程学院
研究主题:解耦控制 解耦 平面电机 电流分配
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唐佳
供职机构:中南大学
研究主题:夹具 耦合封装 同轴型 点胶 光电子器件
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李鑫
供职机构:清华大学
研究主题:平面电机 工件台 音圈电机 晶圆 光刻机
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李小平
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 编织袋 移动机器人 包装机 浸液
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陈学东
供职机构:华中科技大学
研究主题:超精密 负刚度 隔振器 减振器 减振
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廖飞红
供职机构:华中科技大学
研究主题:光刻机 减振器 补偿技术 平板显示 刚度特性
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