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国家高技术研究发展计划(2009AA043101)
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潘国顺
刘岩
戴媛静
周艳
龚剑锋
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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刘岩
供职机构:清华大学航天航空学院
研究主题:无网格法 分子动力学 无网格 动力学方法 无单元法
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费玖海
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP 温度控制 CMP工艺 PG
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龚剑锋
供职机构:清华大学机械工程学院摩擦学国家重点实验室
研究主题:化学机械抛光 聚苯乙烯颗粒 PS 去除速率 抛光液
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戴媛静
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 水性 抛光 金属加工液 抛光速率
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周艳
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 化学机械抛光 去除速率 超硬材料
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裴惠芳
供职机构:清华大学研究院
研究主题:钛 基片 化学机械抛光
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朱永华
供职机构:清华大学研究院
研究主题:电塑性 钢丝 电刷镀层 电塑性效应 拔丝
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高慧莹
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 蓝宝石 衬底材料 LED 碳化硅
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刘涛
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 泵头 蠕动泵 压力控制 CMP
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