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国家自然科学基金(69876007)

作品数：4 被引量：17H指数：2
相关作者：竺士炀黄宜平李爱珍王瑾吴东平更多>>
相关机构：复旦大学浙江大学更多>>
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相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

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资助

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地区

  • 8个上海市
  • 2个浙江省
共 10 条 记 录，以下是 1-10
竺士炀
供职机构：复旦大学
研究主题：SOI SIMOX 辐照特性 多孔硅 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄宜平
供职机构：复旦大学
研究主题：MEMS 传感器 气体传感器 SOI 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李爱珍
供职机构：复旦大学
研究主题：SOI 多孔硅 压力传感器 CMOS SOI技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王瑾
供职机构：复旦大学
研究主题：SOI 压力传感器 UHV/CVD 听觉诱发电位 高温压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴东平
供职机构：复旦大学
研究主题：金属半导体 场效应晶体管 肖特基结 金属硅化物 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
包宗明
供职机构：复旦大学
研究主题：MEMS 红外 硅 多孔硅 微机电系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄靖云
供职机构：浙江大学
研究主题：SUB 晶体薄膜 ZNO 脉冲激光沉积法 肖特基二极管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈绍群
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院
研究主题：硅 压力传感器 各向异性腐蚀 微机械结构 微压传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶志镇
供职机构：浙江大学
研究主题：ZNO 脉冲激光沉积法 ZNO薄膜 晶体薄膜 脉冲激光沉积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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