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国家自然科学基金(50905173)
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3
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相关作者:
沈连婠
李木军
叶回春
黄胜洲
张琼
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中国科学技术大学
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沈连婠
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:基于WEB 大规模定制 仿真 优化设计 接近式光刻
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李木军
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:仿真 大规模定制 接近式光刻 掩膜 基于WEB
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叶回春
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:实践教学 压印 微结构 滚压 工程实践
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刘阳
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:ABAQUS 压印 PMMA 仿真 微结构
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黄胜洲
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:掩膜 微透镜 大视场 液态 液滴
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研究领域
张琼
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院精密机械与精密仪器系
研究主题:膜厚均匀性 涂胶 提拉法 数值仿真
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