您的位置： 专家智库 > >

中国航空科学基金(2008ZE53043)

作品数：9 被引量：20H指数：3
相关作者：李阳平刘正堂徐启远张淼武倩更多>>
相关机构：西北工业大学更多>>
发文基金：中国航空科学基金更多>>
相关领域：电子电信理学更多>>

领域

  • 13个电子电信
  • 6个理学
  • 3个化学工程
  • 3个一般工业技术
  • 2个金属学及工艺
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 2个航空宇航科学...
  • 1个机械工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个建筑科学
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个医药卫生
  • 1个文化科学
  • 1个兵器科学与技...

主题

  • 13个离子刻蚀
  • 13个刻蚀
  • 13个反应离子
  • 13个反应离子刻蚀
  • 11个锗
  • 10个亚波长
  • 10个亚波长结构
  • 10个波长
  • 10个衬底
  • 8个刻蚀速率
  • 8个光刻
  • 7个掩模
  • 7个红外
  • 5个钝化
  • 5个钝化膜
  • 5个衍射
  • 5个石英
  • 5个紫外纳米压印
  • 5个纳米压印
  • 3个第一性原理

机构

  • 13个西北工业大学
  • 1个西安交通大学
  • 1个中国商飞上海...
  • 1个上海飞机设计...
  • 1个上海飞机设计...
  • 1个清华大学研究...
  • 1个中国商用飞机...

资助

  • 13个中国航空科学...
  • 3个国家自然科学...
  • 2个国防基础科研...
  • 2个国防科技技术...
  • 2个中国博士后科...
  • 2个国家重点实验...
  • 2个陕西省自然科...
  • 1个广东省自然科...
  • 1个国防基金
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家留学基金
  • 1个国家重点基础...
  • 1个高等学校学科...
  • 1个国家大学生创...
  • 1个国家级大学生...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个航天科技创新...
  • 1个西北工业大学...
  • 1个中央高校基本...

传媒

  • 8个机械科学与技...
  • 7个材料科学与工...
  • 6个物理学报
  • 5个西北工业大学...
  • 5个半导体技术
  • 5个真空科学与技...
  • 4个光学学报
  • 4个微细加工技术
  • 3个材料导报
  • 2个光学精密工程
  • 2个功能材料
  • 2个材料研究学报
  • 2个真空科学与技...
  • 1个现代化工
  • 1个光电子．激光
  • 1个硅酸盐通报
  • 1个稀有金属材料...
  • 1个高等学校化学...
  • 1个稀土
  • 1个燕山大学学报

地区

  • 11个陕西省
  • 1个上海市
  • 1个广东省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
李阳平
供职机构：西北工业大学
研究主题：反应离子刻蚀 射频磁控溅射 衬底 亚波长结构 计算机模拟
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘正堂
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：电子结构 第一性原理 第一性原理计算 射频磁控溅射 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐启远
供职机构：清华大学研究院
研究主题：反应离子刻蚀 ZNS 穿孔 集流 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张淼
供职机构：中国商飞上海飞机设计研究院
研究主题：CFD 反应离子刻蚀 数值模拟 优化设计 机翼
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武倩
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：反应离子刻蚀 ZNS 抗反射 衬底 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郑倩
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：反应离子刻蚀 锗 亚波长结构 衬底 衍射效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈海波
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：亚波长结构 反应离子刻蚀 石英 光刻 刻蚀速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
车兴森
供职机构：西北工业大学
研究主题：磁控溅射 亚波长结构 亚波长 RIE 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘辉
供职机构：西北工业大学材料学院凝固技术国家重点实验室
研究主题：衬底 衍射效应 锗 反应离子刻蚀 刻蚀深度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢红成
供职机构：西北工业大学材料学院
研究主题：衬底 锗 反应离子刻蚀 红外 宽波段
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0