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国防科学技术预先研究基金(51309010303)
作品数:
1
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相关作者:
陈志勇
张嵘
刘宇航
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清华大学
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国防科技技术预先研究基金
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张嵘
供职机构:清华大学
研究主题:转子 微机械 微机械陀螺 微机电系统 电容
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刘宇航
供职机构:北京机械设备研究所
研究主题:气体传感器 传感器 传感器芯片 气体 气敏材料
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陈志勇
供职机构:清华大学
研究主题:微机械陀螺 微机械 微机电系统 差分信号 单锚
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