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国家教育部博士点基金(20040674009)

作品数：3 被引量：0H指数：0
相关作者：吴萍王飚彭坤林大成更多>>
相关机构：中芯国际集成电路制造有限公司昆明理工大学西南交通大学更多>>
发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

领域

  • 4个电子电信
  • 3个自动化与计算...
  • 2个金属学及工艺
  • 2个一般工业技术
  • 1个经济管理
  • 1个化学工程
  • 1个冶金工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个交通运输工程

主题

  • 4个动态随机存储...
  • 4个选择性
  • 4个随机存储器
  • 4个离子注入
  • 4个漏电
  • 4个漏电流
  • 4个BF
  • 4个DRAM
  • 4个存储器
  • 3个栅极
  • 3个湿法清洗
  • 3个去除工艺
  • 2个等离子
  • 2个等离子喷涂
  • 2个硬面
  • 2个杂质离子
  • 2个正交
  • 2个污染
  • 2个污染控制
  • 1个氮化

机构

  • 3个中芯国际集成...
  • 2个昆明理工大学
  • 1个西南交通大学
  • 1个中芯国际集成...

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 4个国家教育部博...
  • 1个云南省自然科...
  • 1个云南省应用基...
  • 1个云南省应用基...

传媒

  • 4个微细加工技术
  • 3个纳米技术与精...
  • 2个昆明理工大学...
  • 1个现代化工
  • 1个水利学报
  • 1个金属热处理
  • 1个理化检验（物...
  • 1个机械工程材料
  • 1个化学工程
  • 1个热加工工艺
  • 1个表面技术
  • 1个河北化工
  • 1个有色金属
  • 1个轻金属
  • 1个中国腐蚀与防...
  • 1个电子工业专用...
  • 1个水电站机电技...
  • 1个中国工程科学
  • 1个纳米科技
  • 1个南昌航空大学...

地区

  • 2个上海市
  • 2个云南省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
彭坤
供职机构：昆明理工大学机电工程学院
研究主题：陶瓷涂层 等离子喷涂 AL 激光重熔 BF
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王飚
供职机构：昆明理工大学冶金与能源工程学院真空冶金国家工程实验室
研究主题：水轮机 惰性阳极 M 电镀 磨蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴萍
供职机构：中芯国际集成电路制造有限公司
研究主题：漏电流 动态随机存储器 DRAM BF 选择性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林大成
供职机构：中芯国际集成电路制造有限公司
研究主题：BF 离子注入 DRAM 磷 选择性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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