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上海市科学技术委员会基础研究重点项目(11jc1413300)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：姜来新逯鑫淼吴谊群王阳更多>>
相关机构：黑龙江大学中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文基金：上海市科学技术委员会基础研究重点项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

领域

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主题

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机构

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资助

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地区

  • 3个上海市
  • 1个黑龙江省
共 4 条 记 录，以下是 1-4
王阳
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩膜 锑 光刻 超分辨 记录层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴谊群
供职机构：黑龙江大学
研究主题：酞菁 金属酞菁 氧 萘酞菁 旋涂膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜来新
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：锑 相变 掩膜 光学常数 超分辨
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
逯鑫淼
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：锑 光学常数 磁控溅射 铋合金 薄膜厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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