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国家自然科学基金(10376010)

作品数：2 被引量：3H指数：1
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资助

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传媒

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地区

  • 2个四川省
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苏志伟
供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院
研究主题：电感耦合等离子体 离子束刻蚀 粗糙度 天线设计 天线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈庆川
供职机构：中国核工业集团公司核工业西南物理研究院
研究主题：离子注入 离子束 PSII 放电等离子体 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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