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辽宁省教育厅高等学校科学研究项目(L2010005)
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2
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相关作者:
韩建群
伦淑娴
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韩建群
供职机构:渤海大学
研究主题:MEMS微结构 平行度误差 三轴式 压电陶瓷 仿真
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伦淑娴
供职机构:渤海大学
研究主题:MEMS微结构 平行度误差 压电陶瓷 力测量 套筒
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