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上海市科委科研计划项目(0852nm02600)
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汪红
丁桂甫
姚锦元
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丁桂甫
供职机构:上海交通大学
研究主题:微机电系统 MEMS 微机电系统技术 双稳态 微加工
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汪红
供职机构:上海交通大学
研究主题:TSV MEMS 图形化 微加工 微机电系统
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姚锦元
供职机构:上海交通大学
研究主题:电镀 微机电系统 微加工 阴极 碳纳米管
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李光杨
供职机构:上海交通大学
研究主题:微电铸 镀液 微结构 超声清洗 超薄膜
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王艳
供职机构:上海交通大学医学院
研究主题:磁力研磨 化学品 偿付能力 金刚石砂轮 MEMS
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蒋为桥
供职机构:上海交通大学
研究主题:干法 过滤装置 溅射法制备 化学气相 纳米光电子器件
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陈晖
供职机构:上海交通大学
研究主题:有限元模拟 微电铸 杨氏模量 镍 UV-LIGA
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谭姣姣
供职机构:江南大学信息工程学院
研究主题:表面改性 光刻胶 接触角 镀液 微结构
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杨卓青
供职机构:上海交通大学
研究主题:绝缘衬底 惯性开关 微机电系统技术 蛇形弹簧 微机电系统
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张振杰
供职机构:教育部
研究主题:复合镀层 耐蚀性 纳米晶 镀锌层 电泳涂装
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