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天津市科技计划(10SYSYJC28100)
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左长云
安玉凯
刘技文
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刘技文
供职机构:天津理工大学
研究主题:SIC 射频磁控溅射 光致发光 纳米多层膜 套准
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安玉凯
供职机构:天津理工大学材料科学与工程学院
研究主题:微结构 CO掺杂 SIC 射频磁控溅射 SIO
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左长云
供职机构:天津理工大学
研究主题:射频磁控溅射 磁控溅射 衬底温度 SI 退火
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