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国家科技重大专项(2009ZX02001-002)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：邵花夏洋刘训春王文东更多>>
相关机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信更多>>

领域

  • 4个电子电信
  • 2个化学工程
  • 2个金属学及工艺
  • 2个自动化与计算...
  • 2个一般工业技术
  • 2个理学
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  • 1个航空宇航科学...
  • 1个自然科学总论

主题

  • 4个等离子
  • 4个等离子体
  • 4个等离子体刻蚀
  • 4个低电阻率
  • 4个电阻率
  • 3个等离子喷涂
  • 3个电路
  • 2个氮化
  • 2个氮化镓
  • 2个导光
  • 2个等离子体处理
  • 2个等离子体浸没...
  • 2个等离子体喷涂
  • 2个等离子体增强
  • 2个低压等离子喷...
  • 2个电池
  • 2个电容
  • 2个电阻
  • 2个杂色
  • 1个单电源

机构

  • 4个中国科学院微...
  • 2个北京科技大学
  • 1个浙江大学
  • 1个中国科学院
  • 1个中国科学院微...
  • 1个嘉兴科民电子...
  • 1个中国科学院嘉...

资助

  • 4个国家自然科学...
  • 4个国家科技重大...
  • 2个国家重点基础...
  • 2个中国科学院知...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个北京市自然科...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个中国博士后科...
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  • 1个中国科学院科...
  • 1个中国科学院重...
  • 1个辽宁省科技厅...

传媒

  • 4个功能材料
  • 2个半导体技术
  • 2个Journa...
  • 2个电子学报
  • 2个金属热处理
  • 2个热加工工艺
  • 2个电子器件
  • 2个功能材料与器...
  • 2个固体电子学研...
  • 2个热喷涂技术
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  • 1个粉末冶金技术
  • 1个太阳能学报
  • 1个电子工艺技术
  • 1个物理学报
  • 1个物理
  • 1个材料保护
  • 1个激光与光电子...
  • 1个核技术
  • 1个无机材料学报

地区

  • 4个北京市
共 4 条 记 录，以下是 1-4
王文东
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 大气等离子喷涂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邵花
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子喷涂 杂色
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘训春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：晶体管 HBT 电子束曝光 显影 GAAS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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